Розроблено ємнісний датчик тиску з використанням технологій thick-film та LTCC. Діафрагма з кераміки LTCC діаметром 9 мм має товщину 200 мкм, відстань між електродами близько 70 мкм та початкову ємність близько 10 пФ. Датчик є частиною електронного кола з частотним виходом, а типова вихідна частота близько 10 кГц, а чутливість від 2,5 до 3,5 Гц/кПа. Ємнісний датчик тиску має переваги високої чутливості, низької температурної залежності, стійкості до високих температур, використання в різних середовищах, низької споживаної енергії та низької чутливості до зовнішніх ефектів, але дуже схильний до паразитних ефектів, що можна зменшити за допомогою відповідної електроніки.